楚环科技RTO系统在半导体行业治理应用

时间：2024-07-09 13:37

来源：楚环科技

本文主要是概述了楚环科技承接的车间生产线废气治理项目。

项目背景

业主是一家高端光学膜材科技企业。聚焦高机能材料领域，以光学设计、精密涂布工艺、核心材料技术为支柱，构建高端光学膜材产品解决方案创新平台。其产品覆盖电视/IT显示表面处理、OLED显示光学薄膜、车载显示光学薄膜和uLED/mLED显示光学薄膜等多个领域。

制造基地项目效果图

该公司总部及高机能半导体材料研发制造基地项目总投资约30亿元。项目建设分为涂布型OLED相位差补偿膜项目和集成电路功能膜项目，建成后将填补国内相关产业链空白，实现OLED偏光片光学补偿膜国产化，为国内首条涂布型相位差膜量产线。杭州楚环科技股份有限公司承接本次车间生产线废气治理。

在此项目的执行过程中，楚环科技项目团队凭借其卓越的执行力及产出的高质量成果，赢得了业主单位的高度认可与赞誉。团队所展现的高度专业性和敬业精神，确保项目能够按照既定计划稳步推进，最终圆满达成项目目标，实现了完美的收官。

项目参数

污染来源：车间生产过程中涂布线（含配液、涂布机、干燥箱、清洗等）排放的尾气

处理设备：冷凝+干式过滤+沸石转轮+ RTO

废气风量：75000m³/h

污染物组分：甲苯、环己酮、丙二醇甲醚、正丁酯、仲丁醇、双丙酮醇

处理效果：净化效率≥98%，排放浓度：总VOCs<60mg/m³

技术设计

本项目对车间的涂布生产线排放的VOCs进行治理。当有机废气的流量大、浓度低时，采用直接蓄热燃烧需消耗大量燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附进行浓缩，然后再通过高温热风吹扫，使有机废气脱附成为高浓度废气后再进行热氧化分解。当废气浓度足够高时，仅需要补充少量热源就可维持系统正常运行。采用转轮吸脱附+蓄热氧化装置进行废气净化处理，沸石转轮处理设计浓缩7~10倍，浓缩后的小风量高浓度废气由风机引入RTO炉进行氧化分解，转轮的脱附热空气可利用RTO配置的高温换热器进行预热。